近日，维普半导体交出本年度一份圆满的成绩单，新一代STORM 5000掩模缺陷检测设备顺利通过国内某头部客户商用验收！下一台STORM 5000设备目前已完成出厂前测试，将于本月底前交付国内另一关键客户。
STORM 5000不负众望
STORM 5000是维普推出的第4代掩模图形缺陷检测设备，基于STORM 3000的技术积累及成功经验，经过近3年的迭代研发，STORM 5000在光学成像、算法、算力等方面进一步提升，可满足更高制程的Mask制造。支持PSM、Binary掩模检测，适配ArF与KrF对应的技术节点，产品关键指标达预期，具备相关进口设备的替代能力。
图1 STORM 5000机台外观
STORM 3000持续热销
维普上一代光掩模缺陷检测成熟机型STORM 3000自2022年推出以来，持续获得国内外主流厂商的重复订单。截至目前，STORM 系列已实现销售订单近70套，主要客户包括：上海中芯国际、迪思微、中微掩模、路维光电、路芯半导体、清溢光电、龙图光罩、睿晶半导体等国内客户，以及Photronics、Tekscend Photomask（隶属于凸版印刷集团Toppan Holdings）等国际头部客户。2025年，STORM 3000产品在软件算法上持续升级，新推出SDB、结合传统的DB、DD、SL 4种模式的灵活应用，进一步提升STORM 3000机台的检测能力。随着市场份额不断提升，STORM 3000配套的服务、交付能力也进一步提升，从设备搬入至试运行时间缩短至15—20天，产品稳定性和性能指标广受客户好评。
STORM 3000通过了头部客户的严苛考验，自2025年四季度开始，维普面向头部客户的海外站点开始批量化交付，已成为其检测设备供应商中的重要合作伙伴。（CIS）
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